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具有增强的热和器件性能的可堆叠晶片或管芯封装

摘要

本发明提供一种衬底,该衬底具有器件层(210,310)和金属化区(230,315)。在衬底内,提供了导电通孔(270,350)和导热区(260,365)。热传导区可通过到沟槽内的淀积或形成图样而形成。衬底可在堆叠设置中提供。

著录项

  • 公开/公告号CN101292348B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-06-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英特尔公司;

    申请/专利号CN200680039351.7

  • 发明设计人 R·巴斯卡兰;S·拉马纳坦;P·莫罗;

    申请日2006-10-24

  • 分类号H01L23/367(20060101);H01L23/48(20060101);H01L21/768(20060101);H01L25/065(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人曾祥夌;刘宗杰

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 09:06:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-06-08

    授权

    授权

  • 2008-12-17

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-10-22

    公开

    公开

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