定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法

摘要

提供一种能够防止强制力作用于定好位的晶片的定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法。把晶片(2)靠押在定位构件(28)上的靠押构件(26)，具有大体斜对晶片载置面(24a)的靠接面(26s)；靠接面(26s)靠接在晶片(2)的近旁，沿斜方向把晶片(2)靠押在晶片载置面(24a)上；弹性变形构件(27)把定位构件(28)保持在靠接定位在晶片(2)上的定位位置；在超过规定大小的靠押力作用于定位构件(28)上时，弹性变形构件(27)就弹性变形，而使定位构件(28)从定位位置退让开。