公开/公告号CN101551226B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN200910049993.0
申请日2009-04-24
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 09:06:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-01
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01B 7/00 变更前: 变更后: 申请日:20090424
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2011-05-11
授权
授权
2011-05-11
授权
授权
2009-12-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-10-07
公开
公开
2009-10-07
公开
公开
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机译: 程序,以提高至少一个车轮驱动的位置定位器(尤其是机器人)以及位置定位器(尤其是具有执行该程序的设备的机器人)的绝对定位精度
机译: 能够提高定位精度的载物台位置控制方法和载物台位置控制设备
机译: 用于提高待加工的受控进给驱动器和加工机的定位精度的方法和电路装置