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具有增强行程能力的压电执行元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有基于在机械预应力和电场的同时影响下对特定结构化压电陶瓷层的变形特性的利用而增强的行程能力的压电执行元件(1)。此外,本发明提供一种用于制造所述压电执行元件(1)的方法。压电执行元件适用于低压运行,例如在生物和医药技术(微泵、微阀)、工业电子技术(气动阀)、微执行元件和微电动机的领域内来实现。

著录项

  • 公开/公告号CN101203967B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西门子公司;

    申请/专利号CN200680022337.6

  • 发明设计人 S·拉姆彭谢尔夫;A·沃尔夫;

    申请日2006-06-07

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人卢江

  • 地址 德国慕尼黑

  • 入库时间 2022-08-23 09:06:33

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-08-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 41/09 授权公告日:20110406 终止日期:20110607 申请日:20060607

    专利权的终止

  • 2011-04-06

    授权

    授权

  • 2008-08-13

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-06-18

    公开

    公开

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