用于压电执行元件位移放大器上的挠性铰链的挠度,精度和应力分析

摘要

在不同的场合象在X—Y精密平台、高精度光纤微调装置、联接器和压电马达上使压电执行元件优越于使用其他类型的执行元件(例如电磁型和液压型)。虽然压电装置能产生的输出力大,但是常用的组合式执行元件位移是15μm,是不能够满足一般工程应用的,为此需要较大的移动范围(0.05～0.5mm或更大)。挠性铰链有许多优点,像运动平稳,不需要润滑,