一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法

摘要

一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及制作方法，包括陀螺总成和衬底，陀螺总成包括第一驱动电极、第二驱动电极、驱动叉指、支撑锚点、框架、弹性支撑梁以及检测叉指，驱动叉指和检测叉指分别连接于框架的两端，框架的中部设有支撑锚点，支撑锚点的两端通过弹性支撑梁与框架相连，第一驱动电极和第二驱动电极分别位于驱动叉指的两侧，支撑锚点、第一驱动电极和第二驱动电极通过阳极键合的方式与衬底键合在一起，弹性支撑梁、框架、驱动叉指以及检测叉指与衬底之间留有间隙。本发明进一步公开了上述微机械陀螺的制作方法。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、加工工艺简单、易于批量生产、产品品质高的倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法。