基板加工方法、基板加工装置、基板输送方法、基板输送机构

摘要

提供了一基板加工方法及基板加工装置，其中可防止基板在包括基板翻转的基板输送期间损坏，并使得具有该基板输送机构的基板加工装置小型化，从而可减少安装面积。将母基板切割成单位基板的基板加工装置设有：划线部，用于在母基板上绘制划线；折断部，用于沿所形成的划线折断母基板；以及基板输送部，用于至少在上述各部之间输送母基板或单位基板，其中基板输送部具有多个旋转座(51)，其具有吸附面，用于从主表面吸附并保持各基板；旋转座(51)分别具有转轴(52)以及基板吸附转动装置，该基板吸附转动装置在吸附并保持该基板的状态下，以使各基板的至少两个主表面沿着上下方向翻转的方式，绕各转轴(52)大致同时转动基板。