光刻设备、投影组件、组合装置以及主动阻尼方法

摘要

本发明公开了一种光刻设备、投影组件、组合装置以及主动阻尼方法。该光刻设备包括：照射系统，配置用于调节辐射束；支撑件，用以支撑图案形成装置；衬底台，构造用于保持衬底；以及投影系统，配置成将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上。该光刻设备进一步包括主动阻尼系统，用以阻尼投影系统的至少一部分的振动。该主动阻尼系统包括传感器和致动器的组合装置，该传感器用于测量投影系统的位置量，而该致动器依赖于该传感器所提供的信号对该投影系统施加力。该主动阻尼系统连接到阻尼块，该阻尼块连接到该投影系统。