公开/公告号CN102096340B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-19
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201110039984.0
申请日2008-10-06
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:18:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-19
授权
授权
2011-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20081006
实质审查的生效
2011-06-15
公开
公开
机译: 用于增加主动阻尼,投影组件和主动阻尼的稳定工作范围的光刻设备
机译: 阻尼装置,主动阻尼系统,光刻设备和投影组件
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