公开/公告号CN101490624B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN200780027089.9
发明设计人 奥拉乌·瓦尔德马·弗拉基米尔·弗瑞杰恩斯;
申请日2007-07-04
分类号G03F7/20(20060101);H05G2/00(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王新华
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:06:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20110209 终止日期:20150704 申请日:20070704
专利权的终止
2011-02-09
授权
授权
2009-09-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-07-22
公开
公开
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及用于控制在极紫外光源装置中使用的饱和吸收剂的方法
机译: 极紫外光光源装置,用于极紫外光光源装置的激光光源装置以及控制用于极紫外光光源装置的可吸收吸收物的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及用于控制在极紫外光源装置中使用的饱和吸收剂的方法