蒸汽流真空泵性能自动测量系统及测量方法

摘要

蒸汽流真空泵性能自动测量系统及测量方法，属于真空测试技术领域。本发明能够严格按照国家和国际标准中规定的测试原理和方法，自动完成蒸汽流真空泵参数测试。本发明包括测试罩、气体流量测试单元及前级管路气体流量调节单元等；气体流量测试单元包括滴管，在滴管上部的进气口处设置有滴管电磁阀，在滴管的外侧设置有上、下液位开关；测试罩气体流量调节单元、前级管路气体流量调节单元均由步进电机、针式微调阀和高真空电磁阀组成，针式微调阀的驱动旋钮与步进电机相连，针式微调阀的出气口与高真空电磁阀相连；液位开关、滴管电磁阀等与计算机控制单元相连。测量方法包括蒸汽流真空泵极限压力的测量、体积流率的测量和临界前级压力的测量。