扩散真空泵性能自动测量系统的研制

摘要

本文介绍了一套新研制的扩散真空泵性能的自动测量系统。该系统可以按照国家标准规定的方法自动检测扩散真空泵的极限压力和抽速曲线。系统利用自主开发的光电液位检测方法和元件实现滴管液位的自动读取和记时;利用步进电机驱动针阀实现气体流量和测试罩内压力的自动调节;使用上位PC机和下位单片机的双级控制系统实现对整个测量系统和测量过程的自动控制。