硬脆性光学材料亚表面损伤层厚度的测量方法

摘要

本发明公开了硬脆性光学材料亚表面损伤层厚度的测量方法，首先使用磁流变加工工艺在样品表面加工出一特定剖切平面，剖切亚表面损伤层，并将亚表面损伤反映到剖切平面上；使用腐蚀性化学试剂对剖切平面进行处理，将剖切平面上的亚表面裂纹暴露放大；使用粗糙度测量工具测量剖切平面上不同位置处的粗糙度值，得到粗糙度值变化曲线；由粗糙度曲线上取得数据开始趋向平稳的临界点或极点，及测量过程中记录下的起始点，求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差，即样品亚表面损伤层厚度d。采用本发明方法快捷、准确，可测量多面型、多材料的光学样品，亦可实现大口径、工程化应用。