法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-29
授权
授权
2013-05-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/08 申请日:20121203
实质审查的生效
2013-04-03
公开
公开
机译: 被测设备的层厚度变化测量方法,涉及评估样品中的强度特性,以根据记录设备记录的测量值来测量与预设层厚度的偏差
机译: 支架的测量,层厚测量装置,层厚测量方法和程序,层厚测量系统的层厚测量方法
机译: 制造显影剂层厚度测量装置的方法,显影剂层厚度测量方法和显影装置。