法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/517 授权公告日:20101208 终止日期:20120618 申请日:20090618
专利权的终止
2010-12-08
授权
授权
2010-01-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-02
公开
公开
机译: 掺硼金刚石薄膜的形成方法,由此制得的掺硼金刚石非沉积成员和用于同一目的的混合薄膜沉积装置
机译: 用于音响和音频应用的扬声器系统,包括移动膜片,该膜片由合成生产的多晶金刚石制成,并固定有导电轨
机译: 薄膜沉积装置和包括该薄膜沉积装置的薄膜沉积系统