公开/公告号CN1938833B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN200580010028.2
申请日2005-03-24
分类号
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人赵飞
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:05:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/316 授权公告日:20101222 终止日期:20150324 申请日:20050324
专利权的终止
2010-12-22
授权
授权
2007-05-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-03-28
公开
公开
机译: 促进阻挡层和多液体前体沉积的多孔低k膜之间粘附的方法
机译: 促进从各种前体液体阻挡层沉积的多孔低k膜之间的粘附的方法
机译: 促进阻挡层和多液体前体沉积的多孔低k膜之间粘附的方法