具有正方形表面长方体压电振子的全固态双轴陀螺仪

摘要

一种具有正方形表面长方体压电振子的全固态双轴陀螺仪。本发明由端面为正方形的长方体的压电振子和驱动电极，输出电极，模态检测电极组成。所有电极在压电振子的上下两个正方形表面上，关于压电振子对称分布。利用压电体在一定频率的特殊模态下的振动作为参考振动，此模态压电振子在两个方向上均有特殊位置在上下表面的运动方向相反。当外界有角速度时会在压电振子运动方向相反位置产生方向相反的柯氏力，使压电振子拉伸或压缩，最终在输出电极上产生电势。通过输出电极上的电势检测外界双轴的角速度。本发明采用MEMS微加工技术、结构简单、不需要真空封装、抗冲击性强、能在恶劣环境很好地工作、双轴检敏感、不需要高速转动节省功耗。