集成电路元件可变性测量的方法和集成电路器件

摘要

提供了一个测量集成电路元件可变性的技术。至少一个第一阵列配置的一个特定参数被测量，该第一阵列配置包括多个集成电路元件，在该多个集成电路元件之间没有特定的内部连接。至少一个第二阵列配置的一个特定参数也被测量，该第二阵列配置包括多个集成电路元件，该多个集成电路元件和那些在第一阵列配置中的额定相同，并且在该多个集成电路元件之间有特定的内部连接。根据对于该至少一个第一阵列配置和该至少一个第二阵列配置的特定参数的测量，可以确定该集成电路元件的一个变化系数。