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飞秒激光在晶体表面自组织生长微纳米结构的方法

摘要

本发明涉及一种利用飞秒激光在晶体表面诱导出自组织生长微纳米结构的新方法,属飞秒激光应用技术领域。本发明的特点是利用飞秒激光器系统装置来进行对不同晶体利用飞秒激光在其表面诱导出自组织生长长程纳米结构及对该结构的方向取向的控制定。该飞秒激光器系统产生的激光波长为800nm,脉冲宽度为120fs,重复频率为250KHz的飞秒激光,脉冲最大能量为6μJ,光强分布为高斯分布的线偏振光。通过扫描电子显微镜可看到该纳米结构分布在整个激光辐照区域;对于线偏振飞秒激光,还可看到具有周期性结构的纳米光栅。

著录项

  • 公开/公告号CN101319347B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-09-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海大学;

    申请/专利号CN200810037730.3

  • 申请日2008-05-20

  • 分类号

  • 代理机构上海上大专利事务所(普通合伙);

  • 代理人顾勇华

  • 地址 200444 上海市宝山区上大路99号

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-07-09

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 1/02 授权公告日:20100915 终止日期:20130520 申请日:20080520

    专利权的终止

  • 2010-09-15

    授权

    授权

  • 2009-02-04

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-12-10

    公开

    公开

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