一种晶体硅太阳能电池表面微纳米结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种晶体硅太阳能电池表面微纳米结构的制备方法，包括以下步骤：(1)、将晶体硅原片放入质量百分比1‑5％HF的溶液中去除SiO2层，吹干待用；(2)将上述处理后的硅片放入含有金属离子、氧化剂和化学腐蚀剂的第一化学腐蚀溶液中，在硅片表面形成纳米结构绒面；(3)清洗；(4)将硅片放入第二化学腐蚀液中，进行微纳米结构的修正刻蚀；(5)清洗并烘干，得到晶体硅太阳能电池的绒面结构。具有下述有益效果：1)简化制绒步骤，降低生产成本；2)避免了贵金属的浪费；3)省去用化学溶液/去离子水清洗硅片去除贵金属粒子的步骤，进一步降低了生产成本；4)本发明的制备方法简单易行，适合推广应用。