法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/335 授权公告日:20100811 终止日期:20121030 申请日:20081030
专利权的终止
2010-08-11
授权
授权
2009-05-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-03-18
公开
公开
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