一种使用信号处理的方法进行硅片对准的对准系统及方法

摘要

本发明提出了一种使用信号处理的方法进行对准的对准系统及使用该对准系统的对准方法，通过使用步进方式扫描对准标记，基于对准标记及相应的参考光栅的特殊结构，可以通过对扫描得到的光强信号进行数字滤波的方法，提取其光强信号的第三级信号用于对准，通过分析该对准信号振荡波形中最靠近原始光强信号中心位置的峰值位置，可以得到对准位置。本对准系统与对准方法通过步进扫描结合光栅标记与参考光栅的结构设计，并使用扫描光强信号的第三级信号进行对准的方法，因而具有较高的对准精度。