用于对有源盘进行检查的方法和设备

摘要

一种用于液晶显示器(LCD)的有源盘的集成检查测试系统。该集成检查测试系统可以使视觉成像检查与电子检测如电压成像、电子束检测或电荷检测结合，其中，将由视觉检查系统获得的潜在缺陷信息与由电子检测系统获得的潜在缺陷信息结合，产生缺陷报告。使一个或多个高分辨率视觉照相机在静止的盘上进行扫描，并且对来自照相机的图像数据进行处理，以便检查潜在缺陷。高分辨率电子检测系统检查静止的盘，并且对来自传感器的图像数据进行处理，以便检查潜在缺陷。对来自视觉图像数据和电子检测图像数据的潜在缺陷进行处理，从而产生最终的缺陷信息。