光栅光调制器与有源矩阵驱动电路单片集成方法

摘要

本发明提出一种光栅光调制器与有源矩阵驱动电路单片集成方法，其结合当MEMS器件与CMOS电路单片集成的加工工艺，首先利用CMOS电路加工有源矩阵驱动电路，然后利用低温的表面微机械加工工艺得到MEMS光栅光调制器，实现支撑在下电极上的上层可动光栅形成的MEMS光栅光调制器和下层有源矩阵驱动电路的单片集成。利用该工艺加工的光栅光调制器，可以面向高清晰度、高分辨率投影显示。