用于光刻设备的对准系统、对准方法及增强型对准标记

摘要

本发明提供了一种用于光刻设备的对准系统、对准方法及增强型对准标记。利用所设计的特定对准标记结构，通过对准成像系统，获得对准标记的图像信号；然后通过傅立叶变换，将对准标记的图像信号转换到频域空间，以提取标记的不同级次频率的信息，并由傅立叶逆变换，获得相应的各级次频率的对准信号，这些信号包含对准标记的内在结构与相位信息；最后利用原始信号或获得的低级次频率对准信号做粗对准，利用高级次频率对准信号做精对准，提高对准的分辨率和对准精度。此外，本发明还提供了两种类型的增强型对准标记，增强特定级次频率成分的信号强度，提高该级次信号的信噪比，降低对准误差。