利用化合物半导体的选择性蚀刻制造微透镜和集成有微透镜的光电器件的方法

摘要

提供了一种利用化合物半导体的选择性蚀刻制造微透镜的方法和制造具有微透镜的光电器件的方法。形成微透镜包括对化合物半导体层进行构图和去除化合物半导体层的侧表面以形成大致为半球形的透镜。通过数字合金方法去除化合物半导体层的侧表面。具体而言，通过湿法蚀刻工艺去除化合物半导体层的侧表面。