文摘
英文文摘
本人完成的主要工作
第一章综述
§1-1微光学技术的发展和应用背景
§1-2微透镜阵列研究现状
§1-3本课题的选题和总体方案
参考文献
第二章FPA的微透镜集成技术
§2-1引言
§2-2焦平面阵列技术
§2-3FPA的微透镜集成技术方案
§2-4FPA集成的聚能微透镜阵列设计准则
§2-5FPA集成的微透镜阵列容差
参考文献
第三章热熔理论和参数分析
§3-1概述
§3-2热熔温变过程
§3-3热熔过程的表面热力学机理
§3-4热熔微透镜的制作参数设计
参考文献
第四章热熔自挤压制作法
§4-1概述
§4-2热熔自挤压法理论
§4-3热熔自挤压微透镜设计方法
§4-4光刻胶特性与掩模设计
§4-5工艺流程与参数控制
参考文献
第五章离子蚀刻面形转移技术
§5-1面形转移技术概述
§5-2反应离子束蚀刻技术
§5-3蚀刻速率与参数控制
§5-4MLA的面形传递
参考文献
第六章微透镜阵列的综合测试
§6-1微透镜面形测试
§6-2微透镜阵列光学特性测试
§6-3热熔自挤压获得的微透镜阵列综合性能
参考文献
第七章论文总结
致谢
