陀螺振动片、陀螺传感器及陀螺振动片的制造方法

摘要

本发明的目的在于，提供一种防止从陀螺振动片的外部施加的、例如跌落等冲击引起的驱动部或者检测部的破坏，提高了耐冲击性的陀螺振动片及其制造方法，以及陀螺传感器。本发明的陀螺振动片(10)形成：构成支撑部(11)的基部(12)及连结臂(13、14)、2个检测臂(16A、16B)、与连结臂(13、14)的前端连接的驱动臂(15A、15B、15C、15D)。在该驱动臂或者检测臂与其他部分连续地连接的连接部(22、22′)的侧面，形成多级形状的连接面。在该连接面上，在多级形状内的连接部的最内侧，具有配备了与驱动臂或者检测臂的表面连续地连接的略呈圆弧状的壁面(R1、R2)和规定深度的底面的第一级部(20、20′)。