扩散器重力支撑件及淀积一薄膜于一基板上的方法

摘要

提供一种用来支撑一气体分布板的中央部分的设备及方法。至少一支撑件能够在不妨碍气体流经该扩散器下将该扩散器与一匹配连结件相接合及脱离，而且被设计来为一在周边处被支撑的扩散器提供垂直的悬挂架，或能够在没有周边支撑下支撑该扩散器。在一形态中，该至少一支撑件为一气体输送导管的一部分，而在另一实施例中为多个与该气体输送导管分离的支撑件。该至少一支撑件能够将垂直的升举或垂直的压挤转移到该扩散器的中央区。还提供一种用来控制气体从该气体输送导管流到该气体分布板的方法及设备。