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公开/公告号CN100588957C
专利类型发明授权
公开/公告日2010-02-10
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱电机株式会社;
申请/专利号CN200710103294.0
发明设计人 西野裕久;宇野真彦;
申请日2007-05-15
分类号G01N21/95(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人吴丽丽
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:03:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-02-10
授权
2008-01-16
实质审查的生效
2007-11-21
公开
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