法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/31 授权公告日:20100113 终止日期:20170729 申请日:20050729
专利权的终止
2011-08-24
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/31 变更前: 变更后: 登记生效日:20110715 申请日:20050729
专利申请权、专利权的转移
2011-08-24
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/31 变更前: 变更后: 登记生效日:20110715 申请日:20050729
专利申请权、专利权的转移
2010-01-13
授权
授权
2010-01-13
授权
授权
2006-05-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-05-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-03-08
公开
公开
2006-03-08
公开
公开
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机译: 氢化物气相外延生长平面内低位错密度的m平面氮化镓
机译: 氢化物气相外延生长平面减少的位错密度m平面氮化镓
机译: 氢化物气相外延生长平面减少的位错密度m平面氮化镓