多级互连的可靠性测试结构

摘要

根据本发明的实施例涉及允许在多个互连金属层中对电迁移效应进行测试的方法和结构。根据本发明的测试结构的实施例至少包括通过测试结构的不同金属层的两个分段。每个分段分别包括为加载电压和测量电压而配置的节点。对这些节点选择性地施加电压或感测电压，允许迅速、准确地检测每个金属层中的电迁移效应。