光学邻近校正光掩模及彩色滤光片的制造方法

摘要

一种光学邻近校正光掩模，适用于制作一彩色滤光片，包括基板、光掩模图案及修补图案。其中，光掩模图案配置于基板上，光掩模图案与转移至彩色滤光片的一转移图案不匹配，使得彩色滤光片具有漏光区域。修补图案配置于基板上的光掩模图案的周边，与漏光区域的位置相对应。该修补图案包括配置于该光掩模图案内的一内辅助线，配置于该基板上的该光掩模图案的周边。