利用静电耦合的微加工振动陀螺仪

摘要

一种微加工振动陀螺仪，其具有两个或多个被悬置在平面基板上的共面的可移动块。将两个垂直的轴(x和y)限定在基板平面内，而将第三轴，即z轴或输入轴，限定为垂直于基板平面。所述两个块沿x轴的移动通过静电耦合装置耦合，使得沿x轴的同相模式和反相模式的谐振的固有谐振频率互相分离。当驱动所述两个块以反相模式沿x轴振动、并且上述装置绕z轴旋转时，科里奥利力在Y方向上差动地作用于所述块，导致所述两个块以反相模式沿y轴振动。可以通过速度传感器直接检测沿y轴的反相振动，以测量绕z轴的旋转的转速。可选的是，可以将所述第一和第二体沿y轴的反相振动传递到其它可移动体(即速度检测块)，然后检测所述可移动体的移动以测量绕z轴的旋转的转速。优选以这种方式悬置所述检测体，使得在没有科里奥利力时，振动块沿x轴的移动不影响检测体。这阻止了所述检测体响应基板平面内的线性加速度而移动，但允许这些体易于响应由科里奥利力引起的绕垂直于基板平面的轴的移动。