采用多层复合薄膜温度传感器测试瞬态切削温度的方法

摘要

本发明采用多层复合薄膜温度传感器测试瞬态切削温度的方法属于先进制造及切削技术领域，特别涉及切削温度测试方法领域。该方法使用多层复合薄膜温度传感器，进行多层复合薄膜温度传感器静、动态标定，瞬态切削温度采用冷端温度补偿方式；先进行多层复合薄膜温度传感器的安装，在具有绝缘膜的高速钢或硬质合金刀体上利用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射沉积出保护薄膜。进行瞬态切削温度测试时，将静态标定得到的多层复合薄膜温度传感器热电势与热端温度的关系特性曲线输入系统测试软件中，进行冷端温度补偿。传感器的热接点热容量小，快速响应特性好，有效的解决了金属切削过程中瞬态切削温度的测试问题。