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铁电膜、铁电膜的制造方法、铁电电容器、以及铁电存储器

摘要

一种铁电膜、铁电膜的制造方法、铁电电容器、以及铁电存储器,所述铁电膜101由用通式(Pb

著录项

  • 公开/公告号CN100580932C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2010-01-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN200510134103.8

  • 申请日2005-12-26

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人李香兰

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:03:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-01-13

    授权

    授权

  • 2006-08-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-07-05

    公开

    公开

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