公开/公告号CN100580932C
专利类型发明授权
公开/公告日2010-01-13
原文格式PDF
申请/专利权人 精工爱普生株式会社;
申请/专利号CN200510134103.8
申请日2005-12-26
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李香兰
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:03:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-01-13
授权
授权
2006-08-30
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-07-05
公开
公开
机译: 铁电膜,铁电电容器,铁电存储器,压电元件,半导体元件,铁电膜的制造方法以及铁电电容器的制造方法
机译: 铁电膜,铁电电容器,铁电存储器,压电装置,半导体装置,铁电膜的制造方法及铁电电容器的制造方法
机译: 铁电膜,铁电电容器,铁电存储器,压电元件,半导体元件,铁电膜的制造方法以及铁电电容器的制造方法