铁电晶体膜、电子元件、铁电晶体膜的制造方法和铁电晶体膜的制造装置

摘要

本发明提供一种籽晶膜的取向得到良好地转印，并且具有适于量产的成膜速度的铁电晶体膜的制造方法。一种铁电晶体膜的制造方法，其特征在于，在基板(10)上通过溅射使籽晶膜(14)进行外延生长并形成，在所述籽晶膜上通过旋涂涂布法形成含有铁电体材料的非晶膜，在氧气氛中加热所述籽晶膜和所述非晶膜，由此使所述非晶膜氧化而晶体化，从而形成铁电体涂布烧结晶体膜(15)。