快速热退火设备

摘要

本发明提供了一种快速热退火设备，包括：反应室；预热灯源，设置于所述反应室顶部；晶圆测温器，设置于所述反应室内以实时测量晶圆的温度；腔壁测温器，设置于所述反应室内以实时测量所述反应室的温度；加热线圈，设置于所述反应室的腔壁上；控制模块，设置于所述反应室的腔壁上，用于根据所述腔壁测温器和/或晶圆测温器获取的温度控制所述预热灯源及所述加热线圈的开关或功率大小。本发明解决了现有技术中晶圆受热不均导致品质下降的问题。