公开/公告号CN106548961B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201610880566.7
发明设计人 肖东辉;
申请日2016-10-08
分类号
代理机构深圳市德力知识产权代理事务所;
代理人林才桂
地址 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
入库时间 2022-08-23 10:41:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-11
授权
授权
2017-04-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20161008
实质审查的生效
2017-04-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20161008
实质审查的生效
2017-03-29
公开
公开
2017-03-29
公开
公开
机译: 快速热退火设备和使用该设备进行杂质活化的方法
机译: 使用一步式快速热退火工艺和后端处理形成硅化镍的方法
机译: 使用一步式快速热退火工艺和后端处理形成硅化镍的方法