法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C 19/02 授权公告日:20090923 终止日期:20120531 申请日:20070531
专利权的终止
2009-09-23
授权
授权
2007-12-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-17
公开
公开
机译: 流体驱动装置,流体驱动装置的制造方法,静电驱动流体排放装置以及静电驱动流体排放装置的制造方法
机译: 静电致动器的驱动功能,静电致动器的驱动方式,以及这些静电致动器和旋转台,多面镜
机译: 静电致动器的驱动机构,静电致动器的驱动方法以及使用它们的静电致动器,旋转阶段和多面镜