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用于带电粒子束系统的基板处理设备

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一种用于带电粒子束系统(电子束光刻系统)的基板处理设备，包括通过闸阀(7)连接的主腔室(4)和交换腔室(5)。机械手(15)用来在盒子(10)和激光干涉仪镜组件(13)之间传递载有半导体晶片的夹盘(8)。该机械手包括杆条(17)和侧部部件(18)，该侧部部件从杆条沿侧向伸出，用于支承该夹盘。

著录项

公开/公告号CN100539002C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-09-09

原文格式PDF
申请/专利权人纳米束有限公司;
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申请/专利号CN200580027845.9
发明设计人 T·张;
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申请日2005-05-13
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人范晓斌
地址英国剑桥
入库时间 2022-08-23 09:03:12

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-07-20

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20090909 终止日期:20100513 申请日:20050513

专利权的终止
2009-09-09

授权

授权
2007-09-19

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-07-25

公开

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