用以形成可变电阻存储阵列中的自对准热绝缘单元的方法

摘要

一种非易失性器件，其具有自对准电阻随机存取存储器件。此器件包括下电极元件，其大致平坦，具有内接触表面。在该元件之上为上电极元件，其与下电极元件隔开。包覆结构延伸至上电极元件与下电极元件之间，且此元件包括侧壁隔离元件，其具有定义大致漏斗状中央凹洞的内表面，其终止于终端边缘以定义中央孔；以及位于侧壁隔离元件与下电极之间的拱腹元件，其具有定义热绝缘单元的内表面，此拱腹内壁呈辐射状地向外与侧壁隔离绝缘终端隔开，使得侧壁隔离终端边缘从拱腹元件内表面辐射地向内突出。电阻随机存取存储元件延伸至下电极元件与上电极元件之间，占据了侧壁隔离元件中央凹洞的至少一部分，并从侧壁隔离终端边缘朝向下电极突出并接触至下电极。在此方室中，此拱腹元件内表面与随机存取存储元件间隔开，以定义邻接于电阻随机存取存储元件的热绝缘单元。