一种基于分频技术的电小尺寸样本介电特性检测装置

摘要

本发明公开了一种基于分频技术的电小尺寸样本介电特性检测装置，介电特性检测装置即为两端口网络，又为对称结构，具体包括底层金属层、中间介质层和上层金属带条；其中，所述上层金属带条包括两个相对称布置的微带型威尔金森功分器、两个多环开口谐振环及连接两个微带型威尔金森功分器输出端口的两条支路；两条支路中，一条为传输支路，另外一条为参考支路；多环开口谐振环的开口处设置了微流体通道，用于承载被测流体，空载时具有一个传输零点，加载被测物后，对称性破坏从而产生两个传输零点。本发明可实现电小尺寸样本介电特性的检测，且测试灵敏度不受外界环境的干扰，也实现了平面、价格低廉、易于集成及低剖面等优点，具有很好的实用性。