硬涂层,形成硬涂层用的靶和形成硬涂层的方法

摘要

本发明的目的是提供一种具有优异的硬度和润滑性的硬涂层。该目的通过提供这样一种硬涂层而实现，所述硬涂层包含(Al_1-aV_a)(C_1-XN_X)，其中0.27≤a≤0.75，并且0.3≤X≤1，其中a和X独立地表示原子比率。