固体原料を用いた大気圧マイクロプラズマによるTi系硬質被膜の形成(第1報)

摘要

大気圧マイクロプラズマによる機能性被膜の形成技術は，必要な部分のみに高速で加工でき，しかも真空装置が不要であるなど，安価な設備で実現可能な技術として注目されている。しかし，金型や工具のコーティング材料であるチタン（Ti）系硬質被膜の形成技術は確立されていない。本報では，大気圧マイクロプラズマCVDによる硬質被膜の形成技術の確立を目的とし，Tiワイヤを原料とした成膜プロセスにおける，プラズマに曝されたTiワイヤの表面性状の変化を調べた。