用于半导体芯片孔几何形状度量的系统和方法

摘要

公开了用于测量半导体芯片中的孔结构的几何属性的系统(400)和方法的实施例。接收与半导体芯片中的孔结构相对应的光学光谱信号(412)。该光学光谱信号(412)由一个或多个光学特征来表征。使用模型(408)，至少部分地基于光学特征来确定孔结构的几何属性。从多个训练样本来训练模型(408)，每个所述训练样本包括与相同孔结构相对应的一对光学光谱信号(412)和标记的参考信号(416)。