双镶嵌应用中底部抗反射涂层的两步蚀刻

摘要

本发明中提供了用于从特征中去除BARC层的方法。在一个实施例中，该方法包括在蚀刻室中提供具有填充了BARC层的特征的衬底，为了蚀刻填充在特征中的BARC层的第一部分，将包含NH₃气体的第一气体混合物充入到室中并且为了蚀刻布置在特征中的BARC层的残余部分，将包含O₂气体的第一气体混合物充入到蚀刻室中。