通过优化分配多角度分步沉积时间提升薄膜均匀性的方法

摘要

本发明提供一种通过优化分配多角度分步沉积时间提升薄膜均匀性的方法。该方法包括步骤，S1：将晶圆调整至n个不同的预设角度，在调整至各预设角度时，在保持晶圆静止的状态下进行气相沉积，以于晶圆表面沉积薄膜，并收集各角度下薄膜的特征参数以得到对应各角度的薄膜均匀性分布数据，其中，n为大于1的整数；S2：基于得到的所有角度下的薄膜均匀性分布数据，采用拟合分析得到最优的角度组合以及在各角度的最佳沉积时间分配配比；S3：依最优的角度组合对晶圆的角度进行调整，在调整至相应的各角度后，按对应各角度的最佳沉积时间分配配比对晶圆进行相应时长的气相沉积，以于晶圆表面沉积薄膜。本发明有助于提高薄膜沉积均匀性。