法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-03-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 1/11 授权公告日:20090916 终止日期:20100119 申请日:20051219
专利权的终止
2009-09-16
授权
授权
2008-01-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-12-05
公开
公开
机译: 在基材上形成丙烯酸氟代烷基酯聚合物膜的方法和由该膜制备图案化抗蚀剂的方法
机译: 在基材上形成丙烯酸氟代烷基酯聚合物膜的方法和由该膜制备图案化抗蚀剂的方法
机译: 在基材上形成丙烯酸氟代烷基酯聚合物膜的方法和由该膜制备图案化抗蚀剂的方法