微机械结构和用于制造微机械结构的方法

摘要

本发明涉及一种微机械结构，该微机械结构包括：基板(1)；粘附层(3)，所述粘附层(3)沉积在所述基板(1)上；第一金属层(4)，所述第一金属层(4)沉积在所述粘附层(3)上；铁电层(5)，所述铁电层(5)沉积在所述第一金属层(4)上且具有锆钛酸铅，并且所述铁电层(5)的铅浓度随着与所述第一金属层(4)的距离的增大而以阶梯式降低，以使得所述铁电层(5)具有多个再生层(13)，各再生层(13)中的铅浓度分别是均匀的；以及第二金属层，所述第二金属层沉积在所述铁电层(5)上。